中國
第一台伽瑪刀於1967年研製成功，採用179個Co60放射源，固定在半球樣的頭盔裏，另配有三種可變換的外準直器，使射線束的直徑分別為4、8、14mm。1974年第二台伽馬刀在瑞典Karolinska醫院安裝，1984年第三台在阿根廷的BuenosAries安裝，1985年第四台在英國的Shiffield安裝，後兩台伽瑪刀的放射性鈷源增加到201個。1987年第五台伽瑪刀在美國Pittsburg大學醫學院安裝，增加了直徑18mm的準直器，並且引入計算機系統使不同準直器可以根據治療容積的大小在劑量計劃中綜合應用。此後伽瑪刀日趨完善，並逐步擴展到了世界各地。
1994年7月在中國深圳誕生了世界上第一台旋轉式伽瑪刀，使用了30個60Co放射源，裝載在半球形的頭盔中。其第二級準直器是一同軸半球形頭盔，有6組孔，每組5個孔，孔的排列形式與放射源一致，通過調整準直器的某一組孔與放射源的對正位置可以形成直徑分別為 4、8、 14、18mm的射線束。非治療狀態時，其可以使放射源對正在屏蔽位置以減少放射污染，治療時放射源和準直器一同旋轉，在靶點形成一個旋轉聚焦的高劑量區。
